Pietsoresistiivinen kiihtyvyysmittari

Pietsoresistiivisen kiihtyvyysmittarin ydin on pietsoresistiivinen vaikutus. Siinä käytetään mikrokoneistettua ulokepalkkia tai tiivistemassaa, joka on valmistettu puolijohdemateriaaleista, kuten piistä. Kun kiihtyvyysanturi kokee kiihtyvyyttä, inertiavoima aiheuttaa todistusmassan muodonmuutoksen. Tämä muodonmuutos venyttää tai puristaa palkkiin kiinnitettyä pietsoresistiivistä materiaalia, mikä johtaa muutokseen sen sähkövastuksessa. Mittaamalla tämä vastuksen muutos (tyypillisesti Wheatstonen siltapiiriä käyttäen), kiihtyvyyden suuruus voidaan laskea tarkasti.

Ainutlaatuisen toimintaperiaatteensa ansiosta pietsoresistiiviset kiihtyvyysmittarit tarjoavat korkean herkkyyden, laajan mittausalueen, vankan rakenteen ja korkean{0}}taajuusvasteen. Niillä on kuitenkin yleensä suurempi virrankulutus ja ne ovat herkkiä lämpötilalle (vaatii lämpötilakompensoinnin).

Näiden ominaisuuksien perusteella niiden sovellukset keskittyvät ensisijaisesti kenttiin, jotka vaativat korkean-taajuuden, suuren-vaikutuksen (korkea-g), dynaamisten tapahtumien mittaamista.