Piiresonoiva paine-eroanturi

Piiresonoiva paine-eroanturi on piimikrokoneistusteknologialla valmistettu resonanssianturi, joka on erityisesti suunniteltu mittaamaan paine-ero kahden paineen tuloaukon välillä. Sen ydinperiaate on paine-eron arvon määrittäminen mittaamalla yksittäisen -kiteisen piin resonanssisäteen ominaistaajuuden muutos.

 

Se yhdistää täydellisesti kolmen edistyneen teknologian edut:

1. Paine-eron mittaus:Soveltuu kriittisiin sovelluksiin, kuten virtaus- ja tasomittauksiin.

2. Resonanssiperiaate:Tarjoaa vertaansa vailla olevan tarkkuuden ja{0}}pitkän aikavälin vakauden.

3. Silicon MEMS -tekniikka:Mahdollistaa pienentämisen, erätuotannon ja korkean luotettavuuden.

Sen ydin on monimutkainen mikrorakenne, joka on valmistettu piikiekolle MEMS-tekniikalla.

Ydinrakenne:

• Lasi-Pii-Lasi kolmikerroksinen-sidottu rakenne.
• Ylempi lasikerros: Sisältää paineen tuloaukot, jotka on liitetty korkeapaineiseen-painepuolelle.
• Alempi lasikerros: Sisältää paineen tuloaukot, jotka on liitetty matalapaineiseen -painepuolelle.
• Keskimmäinen piikerros: Mikrokoneistettu ja sisältää:

Tunnistinkalvo: Ohut mutta kestävä piikalvo, joka tunnistaa paine-eron molemmilta puolilta.

Resonanssisäteet: Anturikalvon yläpuolella (tai sisäänrakennettuna) sijaitsevat nämä ovat ripustettuja piisäderakenteita. Tyypillisesti yhden anturin sisällä on kaksi identtistä resonanssisädettä, jotka sijaitsevat vastaavasti kalvon keskellä ja reunassa.

Ohjauselektrodit ja poimintaelektrodit{0}}: Käytetään virittämään resonanssisäteet värähtelyksi ja havaitsemaan niiden värähtelytaajuus.

Käyttöprosessi:

• Käytä paine-eroa: Korkea paine (P1) ja matala paine (P2) vaikuttavat anturikalvon kummallekin puolelle.
• Kalvon muodonmuutos: Paine-ero aiheuttaa sen, että anturikalvo käy läpi pienen taivutuksen muodonmuutoksen.
• Stressin syntyminen: Tämä muodonmuutos luo jännitysjakauman kalvolle:

Resonanssisäde kalvon keskellä kokee puristusjännityksen.

Resonanssisäde kalvon reunassa kokee vetojännitystä.

Taajuusmuutos:

Resonanssiperiaatteen mukaan puristusjännitys saa sen resonanssitaajuuden pienenemään.

Vetojännitys saa sen resonanssitaajuuden kasvamaan.

Differentiaalimittaus: Anturi mittaa kahden resonanssisäteen välisen taajuuseron (Δf=f₁ - f₂).

Lähtö on kahden resonanssitaajuuden välinen ero, mikä tarjoaa merkittäviä etuja:

Yleinen-tilan virheen hylkäys:

• Lämpötilan vaikutukset:Jos lämpötila nousee, molempien resonanssisäteiden taajuudet muuttuvat samaan suuntaan (esim. molemmat pienenevät), mutta niiden taajuusero pysyy ennallaan.
• Staattisen paineen vaikutukset:Samanlainen molemmille puolille kohdistettu staattinen paine vaikuttaa molempiin palkkeihin samalla tavalla ja niiden taajuusero pysyy samoin stabiilina.
• Erittäin korkea tarkkuus ja resoluutio:Taajuus voidaan mitata äärimmäisen tarkasti, mikä johtaa erittäin korkeaan anturin resoluutioon ja toistettavuuteen, ja tarkkuus on ±0,075 % tai jopa suurempi.
• Luonnostaan ​​digitaalinen:Lähtö on taajuussignaali, joka tarjoaa vahvan -häiriönestokyvyn ja jota digitaaliset järjestelmät voivat helposti käsitellä.

Suositut Tagit: piiresonoiva paine-eroanturi, Kiina piiresonoiva paine-eroanturin toimittajat