Keraaminen kapasitiivinen absoluuttinen paineanturi

Keraaminen kapasitiivinen absoluuttinen paineanturi on anturityyppi, joka käyttää alumiinioksidikeraamia ydinmateriaalina ja mittaa painetta suhteessa absoluuttiseen tyhjiön vertailupisteeseen havaitsemalla kapasitanssin muutokset.

 

Yksinkertaisesti sanottuna se on "muuttuva kondensaattori", joka muuntaa paineen suoraan kapasitanssin muutokseksi, ja sen referenssiontelo on hermeettisesti suljettu tyhjiössä.

Sen ydinkomponentti on keraaminen kapasitiivinen anturisydän, joka valmistetaan tyypillisesti monikerroksisella-polttotekniikalla:

Rakenne:Se koostuu keraamisesta alustasta, jossa on kiinteä elektrodi, ja keraamisesta ohuesta kalvosta (kalvosta), joka toimii liikkuvana elektrodina ja liimattu yhteen korkeissa lämpötiloissa lasifrittiä käyttäen.

Liimauksen jälkeen niiden väliin muodostuu erittäin pieni, hermeettisesti suljettu tyhjiön referenssionkalo. Tämä on avain absoluuttisen paineen mittaamiseen.

Tämä rakenne muodostaa rinnakkaisen-levykondensaattorin:

• Levy 1: Kiinteä alaelektrodi (painettu keraamiseen alustaan).
• Levy 2: Liikkuva yläelektrodi (itse keraaminen kalvo, yleensä metalloitu).
• Dielektrinen: Tyhjiö (referenssiontelon sisällä) ja keraaminen.

• Alkutila:Absoluuttisessa tyhjiössä keraaminen kalvo on epämuodostunut ja kapasitanssiarvo on alkuarvo, C₀.
• Käytetty paine:Kun ulkoinen paine (absoluuttinen paine) vaikuttaa keraamisen kalvon ulkopuolelle, kalvo joutuu hieman taipumaan muodonmuutoksen kohti tyhjiön referenssionteloa.
• Kapasitanssin muutos:Tämä muodonmuutos pienentää kahden kondensaattorilevyn välistä etäisyyttä.
  Rinnakkaisen-levykondensaattorin kaavan C=εA/d (jossa ε on permittiivisyys ja A on suhteellinen levypinta-ala) mukaan etäisyyden pieneneminen johtaa kapasitanssiarvon C kasvuun.

• Signaalin mittaus:Seuraava dedikoitu piiri (tyypillisesti ASIC - Application-Specific Integrated Circuit) havaitsee tämän kapasitanssin pienen muutoksen, muuntaa, vahvistaa ja linearisoi sen ja lähettää lopuksi standardoidun signaalin (kuten jännitteen tai digitaalisen signaalin), joka on verrannollinen absoluuttiseen paineeseen.

Suositut Tagit: keraaminen kapasitiivinen absoluuttinen paineanturi, Kiina keraaminen kapasitiivinen absoluuttinen paineanturi toimittajat